gate 古期英語『開いているところ』の意味から

名詞
1)門,通用門,出入り口,城門
2)門扉,木戸,とびら
3)ゲート,(空港の)搭乗口,(競馬の)出馬門,(有料道路などの)料金徴収所,(運河・ドックなどの)水門,改札所
4)【スキー】(回転滑降で選手が通過しなければならない)旗門
5)(道路・踏切などの)遮断機,開閉器
6)(競技会の)入場者総数,(競技会などの)入場料(総額)


コンピューター業界
 本来,チップを構成するトランジスターの内部で,電流の経路として機能する部分,回路。


ダブルゲート・トランジスター
 電流を流すゲートを,2つ持っているトランジスター。 ゲートの数が2倍になれば,トランジスター内を流れる電流が増し,50%以上(2倍以下)性能を向上させることができる。 さらに,2つのゲートを使うことで,電流漏れを抑えることができる。 2000年ころから,高速・高性能のチップを開発するための技術のひとつとして浮上。



metal gate メタルゲート
 FET のゲートの素材に金属を使ったもの。 ゲートの下の絶縁膜が薄くなるにつれ,量子トンネル効果によるもれ(リーク電流)が増加する。 これを少なくするために Intel 社は High-k 絶縁膜を開発。 しかし,従来のシリコン原子によるゲートとの組み合わせでは動作しなかったため, 金属原子によるゲート(metal gate)が開発された。


polymetal gate ポリメタルゲート技術,ポリメタルゲートプロセス
 二酸化珪素膜の上に多結晶珪素膜を置き金属膜をかぶせたゲート。


タングステン・ポリメタルゲート
 低抵抗のタングステンとポリシリコンの2層からなるゲート。 従来使用されているコバルトシリサイドに比べ抵抗が約半分であるW(タングステン)ポリメタルを,ゲート電極に使用し,回路の高速化,高密度化を図ったもの。 従来ロジックで使用されているコバルト構造の低抵抗ゲートと異なり,ゲート上部にエッチングストップとなる絶縁膜を形成できる為, 重ね合わせがずれてもゲートと短絡しないコンタクト(いわゆるセルフアラインコンタクト)が形成可能で,ゲート/ゲート間隔を縮小でき高集積化を実現する。



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